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微细加工技术
Microfabrication Technology
基本信息
主办单位:中国电子科技集团公司第48研究所
出版周期:双月
ISSN:1003-8213
CN:43-1140/TN
出版地:湖南省长沙市
语种:中文
开本:大16开
创刊时间:1983
出版信息
专辑名称:信息科技
专题名称:无线电电子学
出版文献量:1624 篇
评价信息
期刊荣誉:
Caj-cd规范获奖期刊;
《微细加工技术》论文发表目录:
X射线光刻和剥离技术制作声表面波叉指换能器李晶晶;赵以贵;贾锐;李冬梅;牛洁斌;柯导明;陈军宁;4-6
用于非球面测试的位相型计算全息图制作马杰;朱效立;谢常青;叶甜春;赵珉;刘明;陈宝钦;朱日宏;高志山;马骏;7-8+11
高高宽比硬X射线聚焦波带片的制作吴璇;陈军宁;朱效立;牛洁斌;李亚文;胡松;谢常青;9-11薄膜技术
射频磁控共溅射高温NH3退火制备CuO/SiO2复合薄膜的微观结构石锋;李玉国;孙钦军;12-13+18
Fe-ZnSe纳米复合颗粒膜的制备和磁电阻效应张林;张昌文;王永娟;14-15+33
Cu掺杂浓度对ZnO薄膜的结构、透光性和电学性质的影响徐庆岩;吴雪梅;诸葛兰剑;陈学梅;吴兆丰;16-18
聚合物Parylene C薄膜的反应离子刻蚀研究王亚军;刘景全;沈修成;杨春生;郭中元;芮岳峰;19-21微机械加工技术
高析氢活性Ni-Mo-Zn合金电极的制备与表征朱波;刘贵昌;施志聪;王华;刘伟;22-25
SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现徐春晓;房立清;周新伟;26-27+64
陶瓷釉用TiO2光催化剂的制备研究陈前林;吴建青;王龙现;28-30+36
低相位噪声毫米波平面振荡器研究程知群;周云芳;张胜;31-33
共缩聚法制备功能化P(St-MPS)/MCM-41核壳复合微球赵彦生;陈凯;刘永梅;刘成岑;张向英;申迎华;34-36
Zn2+和PO43-复合掺杂α-Ni(OH)2的结构及电化学性能刘长久;黄良花;赵卫民;邢春晓;刘爱芳;37-40
微气泡在矩形铂膜加热器上的控制性生长及振动李倩;刘国华;徐进良;张伟;41-44+57
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究刘凯;张卫平;陈文元;刘武;李凯;戴福彦;45-47
MOCVD侧向外延生长GaN的研究朱丽虹;李晓莹;刘宝林;48-52
锂离子电池正极材料LiNi0.4Co0.2Mn0.4O2的合成及电化学性能钟胜奎;刘乐通;刘洁群;姜吉琼;王健;李阳;郑少英;53-57
染料敏化太阳能电池改性PEDOT:PSS对电极的制备巩翠翠;胡志强;苏岩;李璞;周红茹;康姣;58-60
碳纳米管场电子发射性能不稳定性的分析王必本;王峰瀛;党纯;61-64
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